UHP எரிவாயு விநியோக அமைப்புகள் ஏன் மிகவும் முக்கியமானவை?
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில்—எச்சிங், CVD, அயன் இம்ப்ளாண்டேஷன் மற்றும் லித்தோகிராஃபி போன்ற செயல்முறைகளில்—செயல்முறை வாயுக்கள் மிக உயர் தூய்மையுடன், பொதுவாக 99.9999% (6N) அல்லது 99.99999% (7N) அளவில் இருக்க வேண்டும். ppb (பில்லியனில் ஒரு பங்கு) அல்லது ppt (டிரில்லியனில் ஒரு பங்கு) அளவில் உள்ள ஈரப்பதம் அல்லது ஆக்ஸிஜன் போன்ற மிகச் சிறிய அளவிலான மாசுகள் கூட, கேட் ஆக்சைடு மெலிதல், உலோக வெற்றிடங்கள் அல்லது வேஃபர்களில் குறுக்குச் சுற்றுகள் போன்ற கடுமையான குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தி, முழு தொகுதிகளையும் நிராகரிக்கும் நிலைக்குக் கொண்டு செல்லக்கூடும்.
எனவே, ஒரு UHP வாயு விநியோக அமைப்பின் நோக்கம், வாயுக்களை அவற்றின் தூய்மையில் எந்தவித சிதைவும் ஏற்படாமல், மூலத்திலிருந்து செயல்முறைக் கருவிக்குக் கொண்டு செல்வதும், ஒவ்வொரு கட்டத்திலும் மாசுபடுதலையும் கசிவையும் தடுப்பதுமாகும்.
ஏன் EP குழாய்கள் UHP அமைப்புகளின் முதுகெலும்பாக விளங்குகின்றன?
EP (மின்பளபளப்பாக்கப்பட்ட) குழாயானது, மின்வேதியியல் பளபளப்பாக்கும் செயல்முறைக்கு உட்படுத்தப்படும் துருப்பிடிக்காத எஃகினால் ஆனது, இது கண்ணாடி போன்ற உள் மேற்பரப்பை அளிக்கிறது. இதுவே UHP வாயு விநியோகத்திற்கு இன்றியமையாத "தமனியாக" அமைகிறது.
உன்னதமான தூய்மை – மூலத்திலேயே தடுப்பு
EP செயலாக்கம், உட்புற மேற்பரப்பு சொரசொரப்பை (Ra) 0.13 µm – 0.25 µm அல்லது அதற்கும் குறைவாகக் குறைக்கிறது. இந்த மிக மென்மையான பூச்சு, நுண்ணிய பிளவுகளையும் ஒட்டும் இடங்களையும் நீக்கி, துகள்கள், உலோக அயனிகள் அல்லது ஈரப்பதம் ஒட்டிக்கொள்வதற்கு இடமளிக்காது.
மேம்படுத்தப்பட்ட அரிப்பு எதிர்ப்புத்திறன் – தூய்மைப் பாதுகாப்பு
மின் மெருகூட்டல் படிநிலையானது மேற்பரப்பு அசுத்தங்களை அகற்றி, குரோம் ஆக்சைடு செறிந்த ஒரு செயலற்ற அடுக்கை உருவாக்குகிறது. இது Cl₂, CF₄, மற்றும் HCl போன்ற அரிக்கும் வாயுக்களுக்கு எதிரான எதிர்ப்பாற்றலைக் கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது. இதன்மூலம், துகள்கள் அல்லது வாயு வெளியேற்ற மாசுபாட்டை உருவாக்கக்கூடிய குழாய் சுவர் அரிப்பு தடுக்கப்படுகிறது.
மேம்பட்ட பாய்வுத் திறன் மற்றும் வேகமான சுத்திகரிப்பு
மென்மையான உள் சுவர், பாய்வுத் தடையைக் குறைத்து, அமைப்பைத் தூய்மைப்படுத்துவதையும் வாயு மாற்றீட்டையும் துரிதப்படுத்துகிறது. விரைவான வாயு மாற்றம் தேவைப்படும் செயல்முறைகளில், இது சுழற்சி நேரங்களைக் குறைத்து, உற்பத்தித் திறனை அதிகரிக்கிறது.
உயர்தரப் பொருள் – “கிரீட”த் தரம்
உயர்தர EP குழாய்கள் 316L VIM-VAR (வெற்றிடத் தூண்டல் உருகுதல் + வெற்றிட வில் மறுஉருகுதல்) துருப்பிடிக்காத எஃகிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றன. இந்த இரட்டை உருகுதல் செயல்முறை, மூல உலோகத்தின் மிக உயர்ந்த மொத்தத் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது, இது EP-யின் உச்சபட்ச செயல்திறனை அடைவதற்கான அடிப்படை முன்நிபந்தனையாகும்.
முக்கிய பயன்பாட்டு சூழ்நிலைகள்
•
முக்கிய செயல்முறைகள்– எச்சிங், CVD, அயன் இம்ப்ளாண்டேஷன் மற்றும் லித்தோகிராபி ஆகியவற்றிற்காக உயர் தூய்மையுள்ள வினைபுரியும் வாயுக்களை வழங்குதல்.
•
சிறப்பு வாயுக்கள்– SiH₄, PH₃, Cl₂, மற்றும் BCl₃ போன்ற எளிதில் தீப்பற்றக்கூடிய, நச்சுத்தன்மை வாய்ந்த, அல்லது அரிக்கும் தன்மையுள்ள வாயுக்களைப் பாதுகாப்பாகக் கையாளுதல். மிகவும் அபாயகரமான வாயுக்களுக்கு, இரட்டைக் கட்டுப்பாட்டு EP குழாய்கள் பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன (உள் குழாய் வாயுவிற்காகவும், வெளிப்புற உறை கசிவைக் கண்காணிப்பதற்காக வெற்றிடமாக்கப்பட்டோ அல்லது நைட்ரஜனால் சுத்திகரிக்கப்பட்டோ இருக்கும்).
•
முக்கியமான வன்பொருள்– மிகத் தூய்மையான உட்புற மேற்பரப்புகள் கட்டாயமாகத் தேவைப்படும் வாயு விநியோகப் பலகைகள் (VMBs), வாயுப் பெட்டகங்கள் மற்றும் செயல்முறைக் கருவி இணைப்புகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
குழாய்களுக்கு அப்பால்: ஒரு முழுமையான UHP அமைப்புக்கான பிற அத்தியாவசியப் பொருட்கள்
முழுமையான நம்பகத்தன்மையை உறுதிசெய்ய, இந்த அமைப்பு பின்வருவனவற்றையும் கொண்டிருக்க வேண்டும்:
•
முழு தானியங்கி சுற்றுப்பாதை வெல்டிங்– ISO வகுப்பு 5 (வகுப்பு 100) அல்லது அதற்கும் சிறந்த தூய்மை அறைகளில் செய்யப்படுவதால், கைமுறை பற்றவைப்பு மாறுபாடுகளும் மாசுபடும் அபாயங்களும் நீக்கப்படுகின்றன.
•
முழுவதும் உலோகத்தால் ஆன முகப்பு சீல் பொருத்துதல்கள்– VCR® அல்லது W‑Seal வகைகள் போன்றவை, கசிவற்ற செயல்திறனுக்காக உலோக கேஸ்கெட்டுகளைச் சார்ந்துள்ளன.
•
கடுமையான சுத்தம் செய்தல் மற்றும் பேக்கேஜிங்– EP குழாய்கள், நிறுவப்படும் வரை அவற்றின் “அனுப்பப்பட்ட நிலையிலான” தூய்மையைப் பாதுகாப்பதற்காக, பொதுவாக உயர் தூய்மை நீரால் சுத்தம் செய்யப்பட்டு, உலர்த்தப்பட்டு, நைட்ரஜன் வாயு செலுத்தப்படுவதற்கு முன்பு தூய்மை அறை பேக்கேஜிங்கில் இரட்டைப் பைகளில் இடப்படுகின்றன.
EP குழாய் என்பது வெறும் ஒரு குழாய் மட்டுமல்ல—அது குறைக்கடத்தி வாயு விநியோகத்தில் முதல் நிலை பாதுகாப்பாகும். அதன் மிகவும் மென்மையான மேற்பரப்பு, சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்புத்திறன் மற்றும் உயர்தரப் பொருட்களின் தூய்மை ஆகியவை வேஃபர் உற்பத்தி, சாதன நம்பகத்தன்மை மற்றும் ஒட்டுமொத்த உற்பத்தி ஆலையின் இலாபம் ஆகியவற்றில் நேரடியாகத் தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகின்றன. 5 நானோமீட்டருக்கும் குறைவான முனைகள் மற்றும் மேலும் மேலும் இறுக்கப்படும் குறைபாட்டு வரவுசெலவுத் திட்டங்கள் உள்ள உலகில், EP குழாய் என்பது ஒரு விருப்பத் தேர்வு அல்ல—அதுவே அடித்தளமாகும்.
பதிவிட்ட நேரம்: ஆகஸ்ட்-05-2026