குறைக்கடத்திகளுக்கு உயர்-தூய்மை வாயு குழாய் பதிப்பதன் முக்கியத்துவம்

As குறைக்கடத்திமற்றும் நுண் மின்னணு தொழில்நுட்பங்கள் அதிக செயல்திறன் மற்றும் அதிக ஒருங்கிணைப்பை நோக்கி வளரும்போது, ​​மின்னணு சிறப்பு வாயுக்களின் தூய்மைக்கு அதிக தேவைகள் வைக்கப்படுகின்றன. உயர்-தூய்மை எரிவாயு குழாய் தொழில்நுட்பம் உயர்-தூய்மை எரிவாயு விநியோக அமைப்பின் ஒரு முக்கிய பகுதியாகும். தகுதிவாய்ந்த தரத்தை பராமரிக்கும் அதே வேளையில், எரிவாயு பயன்பாட்டு புள்ளிகளுக்கு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் உயர்-தூய்மை வாயுக்களை வழங்குவதற்கான முக்கிய தொழில்நுட்பமாகும்.

உயர்-தூய்மை குழாய் தொழில்நுட்பத்தில் அமைப்பின் சரியான வடிவமைப்பு, குழாய் பொருத்துதல்கள் மற்றும் துணைப் பொருட்களின் தேர்வு, கட்டுமானம் மற்றும் நிறுவல் மற்றும் சோதனை ஆகியவை அடங்கும்.

01 எரிவாயு பரிமாற்ற குழாய்களின் பொதுவான கருத்து

அனைத்து உயர்-தூய்மை மற்றும் உயர்-சுத்த வாயுக்களும் குழாய்கள் வழியாக முனைய எரிவாயு புள்ளிக்கு கொண்டு செல்லப்பட வேண்டும். எரிவாயு ஏற்றுமதி குறியீடு உறுதியாக இருக்கும்போது, ​​எரிவாயுவிற்கான செயல்முறை தரத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய, குழாய் அமைப்பின் பொருள் தேர்வு மற்றும் கட்டுமானத் தரத்தில் கவனம் செலுத்துவது மிகவும் அவசியம். எரிவாயு உற்பத்தி அல்லது சுத்திகரிப்பு உபகரணங்களின் துல்லியத்துடன் கூடுதலாக, குழாய் அமைப்பின் பல காரணிகளால் இது பெரும்பாலும் பாதிக்கப்படுகிறது. எனவே, குழாய்களைத் தேர்ந்தெடுப்பது தொடர்புடைய சுத்திகரிப்புத் துறை கொள்கைகளுக்கு இணங்க வேண்டும் மற்றும் வரைபடங்களில் குழாய்களின் பொருளைக் குறிக்க வேண்டும்.

02 எரிவாயு போக்குவரத்தில் உயர்-தூய்மை குழாய்களின் முக்கியத்துவம்

உயர்-தூய்மை வாயு போக்குவரத்தில் உயர்-தூய்மை குழாய்களின் முக்கியத்துவம் துருப்பிடிக்காத எஃகு உருக்கும் செயல்பாட்டின் போது, ​​ஒவ்வொரு டன்னும் சுமார் 200 கிராம் வாயுவை உறிஞ்சும். துருப்பிடிக்காத எஃகு பதப்படுத்தப்பட்ட பிறகு, அதன் மேற்பரப்பில் பல்வேறு மாசுபடுத்திகள் சிக்கிக்கொள்வது மட்டுமல்லாமல், அதன் உலோக லேட்டிஸில் ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு வாயுவும் உறிஞ்சப்படுகிறது. குழாய் வழியாக காற்று ஓட்டம் செல்லும்போது, ​​உலோகத்தால் உறிஞ்சப்படும் வாயுவின் ஒரு பகுதி மீண்டும் காற்றோட்டத்தில் நுழைந்து தூய வாயுவை மாசுபடுத்தும்.

குழாயில் காற்றோட்டம் தொடர்ச்சியாக இல்லாதபோது, ​​குழாய் வழியாக செல்லும் வாயுவின் மீது அழுத்தம் உறிஞ்சுதலை உருவாக்குகிறது. காற்றோட்டம் கடந்து செல்வது நிறுத்தப்படும்போது, ​​குழாயால் உறிஞ்சப்படும் வாயு அழுத்தம் குறைப்பு பகுப்பாய்வை உருவாக்குகிறது, மேலும் பகுப்பாய்வு செய்யப்பட்ட வாயு குழாயில் உள்ள தூய வாயுவில் ஒரு அசுத்தமாக நுழைகிறது.

அதே நேரத்தில், உறிஞ்சுதல் மற்றும் பகுப்பாய்வு சுழற்சி குழாயின் உள் மேற்பரப்பில் உள்ள உலோகம் ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு தூளை உற்பத்தி செய்ய வழிவகுக்கும். இந்த உலோக தூசி துகள் குழாயில் உள்ள தூய வாயுவையும் மாசுபடுத்துகிறது. குழாயின் இந்த பண்பு மிகவும் முக்கியமானது. கொண்டு செல்லப்படும் வாயுவின் தூய்மையை உறுதி செய்வதற்காக, குழாயின் உள் மேற்பரப்பு மிக உயர்ந்த மென்மையைக் கொண்டிருப்பது மட்டுமல்லாமல், அது அதிக உடைகள் எதிர்ப்பையும் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

வாயு வலுவான அரிக்கும் பண்புகளைக் கொண்டிருக்கும்போது, ​​அரிப்பை எதிர்க்கும் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களைப் பயன்படுத்த வேண்டும். இல்லையெனில், அரிப்பு காரணமாக குழாயின் உள் மேற்பரப்பில் அரிப்பு புள்ளிகள் தோன்றும். கடுமையான சந்தர்ப்பங்களில், பெரிய உலோகத் துண்டுகள் உரிந்துவிடும் அல்லது துளையிடும், இதனால் கொண்டு செல்லப்படும் தூய வாயு மாசுபடும்.

03குழாய் பொருள்

குழாயின் பொருள் தேர்வு பயன்பாட்டின் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தேர்ந்தெடுக்கப்பட வேண்டும். குழாயின் தரம் பொதுவாக குழாயின் உள் மேற்பரப்பின் கரடுமுரடான தன்மைக்கு ஏற்ப அளவிடப்படுகிறது. கரடுமுரடான தன்மை குறைவாக இருந்தால், துகள்களைச் சுமந்து செல்லும் வாய்ப்பு குறைவு. பொதுவாக மூன்று வகைகளாகப் பிரிக்கப்படுகிறது:

ஒன்றுEP தர 316L குழாய், இது மின்னாற்பகுப்பு ரீதியாக மெருகூட்டப்பட்டது (எலக்ட்ரோ-பாலிஷ்). இது அரிப்பை எதிர்க்கும் மற்றும் குறைந்த மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. Rmax (அதிகபட்ச உச்சம் முதல் பள்ளத்தாக்கு உயரம் வரை) சுமார் 0.3μm அல்லது அதற்கும் குறைவாக உள்ளது. இது மிக உயர்ந்த தட்டையான தன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் மைக்ரோ-எடி மின்னோட்டங்களை உருவாக்குவது எளிதல்ல. மாசுபட்ட துகள்களை அகற்றவும். செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் எதிர்வினை வாயு இந்த மட்டத்தில் குழாய் மூலம் செலுத்தப்பட வேண்டும்.

ஒன்று ஒருபி.ஏ. தரம் 316Lபிரைட் அன்னியலால் சிகிச்சையளிக்கப்பட்ட குழாய், இது பெரும்பாலும் சிப்புடன் தொடர்பில் இருக்கும் ஆனால் GN2 மற்றும் CDA போன்ற செயல்முறை வினையில் பங்கேற்காத வாயுக்களுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. ஒன்று AP குழாய் (அனீலிங் & பிக்கிங்), இது சிறப்பாக சிகிச்சையளிக்கப்படவில்லை மற்றும் பொதுவாக எரிவாயு விநியோகக் கோடுகளாகப் பயன்படுத்தப்படாத வெளிப்புற குழாய்களின் இரட்டை தொகுப்புகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

04 குழாய் கட்டுமானம்

குழாய் வாயிலின் செயலாக்கம் இந்த கட்டுமான தொழில்நுட்பத்தின் முக்கிய அம்சங்களில் ஒன்றாகும். குழாய் வெட்டுதல் மற்றும் முன் தயாரிப்பு ஆகியவை சுத்தமான சூழலில் மேற்கொள்ளப்படுகின்றன, அதே நேரத்தில், வெட்டுவதற்கு முன் குழாயின் மேற்பரப்பில் எந்த தீங்கு விளைவிக்கும் அடையாளங்கள் அல்லது சேதமும் இல்லை என்பதை உறுதி செய்யப்படுகிறது. குழாயைத் திறப்பதற்கு முன் குழாயில் நைட்ரஜன் பறிப்புக்கான தயாரிப்புகள் செய்யப்பட வேண்டும். கொள்கையளவில், அதிக தூய்மை மற்றும் அதிக தூய்மை கொண்ட வாயு பரிமாற்றம் மற்றும் விநியோக குழாய்களை அதிக ஓட்டத்துடன் இணைக்க வெல்டிங் பயன்படுத்தப்படுகிறது, ஆனால் நேரடி வெல்டிங் அனுமதிக்கப்படாது. உறை மூட்டுகளைப் பயன்படுத்த வேண்டும், மேலும் பயன்படுத்தப்படும் குழாய் பொருள் வெல்டிங்கின் போது கட்டமைப்பில் எந்த மாற்றத்தையும் கொண்டிருக்கக்கூடாது. அதிக கார்பன் உள்ளடக்கம் கொண்ட பொருள் பற்றவைக்கப்பட்டால், வெல்டிங் பகுதியின் காற்று ஊடுருவல் குழாயின் உள்ளேயும் வெளியேயும் உள்ள வாயுவை ஒருவருக்கொருவர் ஊடுருவச் செய்யும், இது கடத்தும் வாயுவின் தூய்மை, வறட்சி மற்றும் தூய்மையை அழிக்கும், இது கடுமையான விளைவுகளுக்கு வழிவகுக்கும் மற்றும் உற்பத்தி தரத்தை பாதிக்கும்.

சுருக்கமாக, உயர்-தூய்மை எரிவாயு மற்றும் சிறப்பு எரிவாயு பரிமாற்ற குழாய்களுக்கு, சிறப்பாக சிகிச்சையளிக்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும், இது உயர்-தூய்மை குழாய் அமைப்பை (குழாய்கள், குழாய் பொருத்துதல்கள், வால்வுகள், VMB, VMP உட்பட) உயர்-தூய்மை எரிவாயு விநியோகத்தில் ஒரு முக்கிய பணியை ஆக்கிரமிக்கிறது.