குறைக்கடத்திகளுக்கு உயர்-தூய்மை எரிவாயு குழாய்களின் முக்கியத்துவம்

As குறைக்கடத்திமற்றும் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக் தொழில்நுட்பங்கள் அதிக செயல்திறன் மற்றும் அதிக ஒருங்கிணைப்பை நோக்கி உருவாகின்றன, மின்னணு சிறப்பு வாயுக்களின் தூய்மைக்கு அதிக தேவைகள் வைக்கப்படுகின்றன. உயர் தூய்மை எரிவாயு குழாய் தொழில்நுட்பம் உயர் தூய்மை எரிவாயு விநியோக அமைப்பின் ஒரு முக்கிய பகுதியாகும். தகுதிவாய்ந்த தரத்தைப் பேணுகையில், எரிவாயு பயன்பாட்டுப் புள்ளிகளுக்குத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் உயர்-தூய்மை வாயுக்களை வழங்குவதற்கான முக்கிய தொழில்நுட்பம் இதுவாகும்.

உயர்-தூய்மை குழாய் தொழில்நுட்பமானது அமைப்பின் சரியான வடிவமைப்பு, குழாய் பொருத்துதல்கள் மற்றும் துணைப் பொருட்களின் தேர்வு, கட்டுமானம் மற்றும் நிறுவல் மற்றும் சோதனை ஆகியவை அடங்கும்.

01 எரிவாயு பரிமாற்ற குழாய்களின் பொதுவான கருத்து

அனைத்து உயர்-தூய்மை மற்றும் உயர்-தூய்மை வாயுக்கள் குழாய்கள் மூலம் முனைய எரிவாயு புள்ளிக்கு கொண்டு செல்லப்பட வேண்டும். எரிவாயுக்கான செயல்முறை தரத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்காக, எரிவாயு ஏற்றுமதி குறியீடு உறுதியாக இருக்கும்போது, ​​குழாய் அமைப்பின் பொருள் தேர்வு மற்றும் கட்டுமானத் தரத்தில் கவனம் செலுத்துவது மிகவும் அவசியம். எரிவாயு உற்பத்தி அல்லது சுத்திகரிப்பு கருவிகளின் துல்லியத்துடன் கூடுதலாக, குழாய் அமைப்பின் பல காரணிகளால் இது பெரிதும் பாதிக்கப்படுகிறது. எனவே, குழாய்களைத் தேர்ந்தெடுப்பது தொடர்புடைய சுத்திகரிப்புத் தொழில் கொள்கைகளுக்கு இணங்க வேண்டும் மற்றும் வரைபடங்களில் உள்ள குழாய்களின் பொருளைக் குறிக்க வேண்டும்.

02 எரிவாயு போக்குவரத்தில் உயர் தூய்மை குழாய்களின் முக்கியத்துவம்

உயர்-தூய்மை வாயு போக்குவரத்தில் உயர்-தூய்மை குழாய்களின் முக்கியத்துவம் துருப்பிடிக்காத எஃகு உருகுதல் செயல்முறையின் போது, ​​ஒவ்வொரு டன்னும் சுமார் 200 கிராம் வாயுவை உறிஞ்சும். துருப்பிடிக்காத எஃகு பதப்படுத்தப்பட்ட பிறகு, அதன் மேற்பரப்பில் பல்வேறு மாசுபாடுகள் சிக்கியிருப்பது மட்டுமல்லாமல், அதன் உலோக லேட்டிஸில் ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு வாயுவும் உறிஞ்சப்படுகிறது. குழாய் வழியாக காற்று ஓட்டம் இருக்கும்போது, ​​உலோகத்தால் உறிஞ்சப்படும் வாயுவின் பகுதி மீண்டும் காற்றோட்டத்தில் நுழைந்து தூய வாயுவை மாசுபடுத்தும்.

குழாயில் காற்றோட்டம் இடைவிடாமல் இருக்கும்போது, ​​குழாய் வழியாக செல்லும் வாயுவின் மீது அழுத்த உறிஞ்சுதலை உருவாக்குகிறது. காற்றோட்டம் கடந்து செல்வதை நிறுத்தும்போது, ​​குழாய் மூலம் உறிஞ்சப்பட்ட வாயு அழுத்தம் குறைப்பு பகுப்பாய்வை உருவாக்குகிறது, மேலும் பகுப்பாய்வு செய்யப்பட்ட வாயுவும் குழாயில் உள்ள தூய வாயுவை ஒரு தூய்மையற்றதாக நுழைகிறது.

அதே நேரத்தில், உறிஞ்சுதல் மற்றும் பகுப்பாய்வு சுழற்சியானது குழாயின் உள் மேற்பரப்பில் உள்ள உலோகத்தை ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு தூள் உற்பத்தி செய்யும். இந்த உலோக தூசி துகள் குழாயில் உள்ள தூய வாயுவையும் மாசுபடுத்துகிறது. குழாயின் இந்த பண்பு மிகவும் முக்கியமானது. கடத்தப்பட்ட வாயுவின் தூய்மையை உறுதி செய்வதற்காக, குழாயின் உள் மேற்பரப்பு மிக உயர்ந்த மென்மையைக் கொண்டிருப்பது மட்டுமல்லாமல், அதிக உடைகள் எதிர்ப்பைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

வாயு வலுவான அரிக்கும் பண்புகளைக் கொண்டிருக்கும் போது, ​​குழாய்களுக்கு அரிப்பை எதிர்க்கும் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்கள் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும். இல்லையெனில், அரிப்பு காரணமாக குழாயின் உள் மேற்பரப்பில் அரிப்பு புள்ளிகள் தோன்றும். கடுமையான சந்தர்ப்பங்களில், பெரிய உலோகத் துண்டுகள் உரிக்கப்படும் அல்லது துளையிடும், இதனால் தூய வாயு கொண்டு செல்லப்படும்.

03 குழாய் பொருள்

குழாயின் பொருள் தேர்வு பயன்பாட்டின் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தேர்ந்தெடுக்கப்பட வேண்டும். குழாயின் தரம் பொதுவாக குழாயின் உள் மேற்பரப்பின் கடினத்தன்மைக்கு ஏற்ப அளவிடப்படுகிறது. கடினத்தன்மை குறைவாக இருப்பதால், துகள்களை எடுத்துச் செல்வதற்கான வாய்ப்பு குறைவு. பொதுவாக மூன்று வகைகளாக பிரிக்கப்பட்டுள்ளது:

ஒன்றுEP தர 316L குழாய், இது எலக்ட்ரோலைட்டிகல் பாலிஷ் செய்யப்பட்ட (எலக்ட்ரோ-பாலிஷ்). இது அரிப்பை எதிர்க்கும் மற்றும் குறைந்த மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை கொண்டது. Rmax (அதிகபட்ச உச்சம் முதல் பள்ளத்தாக்கு உயரம்) சுமார் 0.3μm அல்லது குறைவாக உள்ளது. இது மிக உயர்ந்த தட்டையானது மற்றும் மைக்ரோ-எடி நீரோட்டங்களை உருவாக்குவது எளிதானது அல்ல. அசுத்தமான துகள்களை அகற்றவும். செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் எதிர்வினை வாயு இந்த மட்டத்தில் குழாய் செய்யப்பட வேண்டும்.

ஒன்று ஏBA தரம் 316Lகுழாய், இது பிரைட் அனீல் மூலம் சிகிச்சையளிக்கப்பட்டது மற்றும் பெரும்பாலும் சிப்புடன் தொடர்பில் இருக்கும் ஆனால் GN2 மற்றும் CDA போன்ற செயல்முறை எதிர்வினைகளில் பங்கேற்காத வாயுக்களுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. ஒன்று AP குழாய் (அனீலிங் & பிக்கிங்), இது சிறப்பாகச் சிகிச்சை அளிக்கப்படாதது மற்றும் பொதுவாக எரிவாயு விநியோகக் கோடுகளாகப் பயன்படுத்தப்படாத வெளிப்புறக் குழாய்களின் இரட்டைத் தொகுப்புகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

04 குழாய் கட்டுமானம்

குழாய் வாயின் செயலாக்கம் இந்த கட்டுமான தொழில்நுட்பத்தின் முக்கிய புள்ளிகளில் ஒன்றாகும். குழாய் வெட்டுதல் மற்றும் ஆயத்த தயாரிப்பு ஒரு சுத்தமான சூழலில் மேற்கொள்ளப்படுகிறது, அதே நேரத்தில், வெட்டுவதற்கு முன் குழாயின் மேற்பரப்பில் தீங்கு விளைவிக்கும் அடையாளங்கள் அல்லது சேதம் இல்லை என்பதை உறுதிப்படுத்துகிறது. பைப்லைனைத் திறப்பதற்கு முன் குழாயில் நைட்ரஜன் சுத்தப்படுத்துவதற்கான ஏற்பாடுகள் செய்யப்பட வேண்டும். கொள்கையளவில், வெல்டிங் அதிக தூய்மை மற்றும் அதிக தூய்மையான வாயு பரிமாற்றம் மற்றும் விநியோக குழாய்களை பெரிய ஓட்டத்துடன் இணைக்கப் பயன்படுகிறது, ஆனால் நேரடி வெல்டிங் அனுமதிக்கப்படாது. உறை மூட்டுகள் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும், மேலும் பயன்படுத்தப்படும் குழாய் பொருள் வெல்டிங் போது கட்டமைப்பில் எந்த மாற்றமும் இல்லை. அதிக கார்பன் உள்ளடக்கம் கொண்ட பொருள் பற்றவைக்கப்பட்டால், வெல்டிங் பகுதியின் காற்று ஊடுருவல் குழாயின் உள்ளேயும் வெளியேயும் உள்ள வாயுவை ஒருவருக்கொருவர் ஊடுருவி, கடத்தும் வாயுவின் தூய்மை, வறட்சி மற்றும் தூய்மை ஆகியவற்றை அழித்து, கடுமையான விளைவுகளுக்கு வழிவகுக்கும். மற்றும் உற்பத்தி தரத்தை பாதிக்கும்.

சுருக்கமாக, உயர்-தூய்மை எரிவாயு மற்றும் சிறப்பு எரிவாயு பரிமாற்ற குழாய்களுக்கு, சிறப்பாக சிகிச்சையளிக்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும், இது உயர்-தூய்மை குழாய் அமைப்பை (பைப்லைன்கள், குழாய் பொருத்துதல்கள், வால்வுகள், VMB, VMP உட்பட) ஆக்கிரமிக்க வைக்கிறது. உயர் தூய்மை எரிவாயு விநியோகத்தில் முக்கிய பணி.