மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ், ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் பயோஃபார்மாசூட்டிகல்ஸ் போன்ற தொழில்களில்,பிரகாசமான அனீலிங்(BA), ஊறுகாய் அல்லது செயலிழப்பு (AP),மின்னாற்பகுப்பு பாலிஷ் (EP)மற்றும் வெற்றிட இரண்டாம் நிலை சிகிச்சை பொதுவாக உணர்திறன் அல்லது அரிக்கும் ஊடகங்களை கடத்தும் உயர்-தூய்மை மற்றும் சுத்தமான குழாய் அமைப்புகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. கரைக்கப்பட்ட (VIM+VAR) தயாரிப்புகள்.
A. எலக்ட்ரோ-பாலிஷ்டு (எலக்ட்ரோ-பாலிஷ்டு) என்பது EP என குறிப்பிடப்படுகிறது. மின்வேதியியல் பாலிஷ் மூலம், மேற்பரப்பு உருவவியல் மற்றும் கட்டமைப்பை பெரிதும் மேம்படுத்தலாம், மேலும் உண்மையான மேற்பரப்பு பகுதியை ஒரு குறிப்பிட்ட அளவிற்கு குறைக்கலாம். மேற்பரப்பு ஒரு மூடிய, தடிமனான குரோமியம் ஆக்சைடு படலம், ஆற்றல் அலாய் சாதாரண நிலைக்கு அருகில் உள்ளது, மற்றும் ஊடகத்தின் அளவு குறைக்கப்படுகிறது - பொதுவாக மின்னணு தரத்திற்கு ஏற்றது.உயர் தூய்மை வாயுக்கள்.
B. பிரகாசமான அனீலிங் (பிரகாசமான அனீலிங்) BA என குறிப்பிடப்படுகிறது. ஹைட்ரஜனேற்றம் அல்லது வெற்றிட நிலையில் உயர் வெப்பநிலை வெப்ப சிகிச்சை, ஒருபுறம், உள் அழுத்தத்தை நீக்குகிறது, மறுபுறம், உருவ அமைப்பை மேம்படுத்தவும் ஆற்றல் அளவைக் குறைக்கவும் குழாயின் மேற்பரப்பில் ஒரு செயலற்ற படலத்தை உருவாக்குகிறது, ஆனால் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையை அதிகரிக்காது - பொதுவாக GN2, CDA மற்றும் செயல்முறை அல்லாத மந்த வாயுக்களுக்கு ஏற்றது.
C. ஊறுகாய் & செயலற்ற/வேதியியல் ரீதியாக பாலிஷ் செய்யப்பட்டவை (ஊறுகாய் & செயலற்ற/வேதியியல் ரீதியாக பாலிஷ் செய்யப்பட்டவை) AP மற்றும் CP என குறிப்பிடப்படுகின்றன. குழாயை ஊறுகாய் அல்லது செயலற்றதாக்குவது மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையை அதிகரிக்காது, ஆனால் அது மேற்பரப்பில் மீதமுள்ள துகள்களை அகற்றி ஆற்றல் அளவைக் குறைக்கும், ஆனால் இது இடை அடுக்குகளின் எண்ணிக்கையைக் குறைக்காது - பொதுவாக தொழில்துறை தர குழாய்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
D. வெற்றிட இரண்டாம் நிலை கலைப்பு சுத்தமான குழாய் Vim (வெற்றிட தூண்டல் உருகல்) + Var (வெற்றிட ஆர்க்ரீமெல்டிங்), V+V என குறிப்பிடப்படுகிறது, இது சுமிட்டோமோ மெட்டல் நிறுவனத்தின் ஒரு தயாரிப்பு ஆகும். இது வெற்றிட நிலையில் வில் நிலைமைகளின் கீழ் மீண்டும் செயலாக்கப்பட்டுள்ளது, இது அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையை திறம்பட மேம்படுத்துகிறது. பட்டம் - பொதுவாக அதிக அரிக்கும் உயர்-தூய்மை மின்னணு தர வாயுக்களுக்கு ஏற்றது, எடுத்துக்காட்டாக: BCL3, WF6, CL2, HBr, போன்றவை. 
இடுகை நேரம்: ஏப்ரல்-08-2024