மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ், ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் பயோஃபார்மாசூட்டிகல்ஸ் போன்ற தொழில்களில்,பிரகாசமான அனீலிங்(BA), ஊறுகாய் அல்லது செயலற்ற தன்மை (AP),மின்னாற்பகுப்பு பாலிஷ் (EP)மற்றும் வெற்றிட இரண்டாம் நிலை சிகிச்சை பொதுவாக உயர் தூய்மை மற்றும் தூய்மையான குழாய் அமைப்புகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, அவை உணர்திறன் அல்லது அரிக்கும் ஊடகத்தை கடத்துகின்றன. கரைந்த (VIM+VAR) தயாரிப்புகள்.
A. எலக்ட்ரோ-பாலிஷ் செய்யப்பட்ட (எலக்ட்ரோ-பாலிஷ்டு) EP என குறிப்பிடப்படுகிறது. மின் வேதியியல் மெருகூட்டல் மூலம், மேற்பரப்பு உருவவியல் மற்றும் கட்டமைப்பை பெரிதும் மேம்படுத்த முடியும், மேலும் உண்மையான பரப்பளவை ஒரு குறிப்பிட்ட அளவிற்கு குறைக்க முடியும். மேற்பரப்பு ஒரு மூடிய, தடிமனான குரோமியம் ஆக்சைடு படமாகும், ஆற்றல் கலவையின் இயல்பான நிலைக்கு அருகில் உள்ளது, மேலும் ஊடகத்தின் அளவு குறைக்கப்படுகிறது - பொதுவாக மின்னணு தரத்திற்கு ஏற்றதுஉயர் தூய்மை வாயுக்கள்.
B. பிரைட் அனீலிங் (பிரைட் அனீலிங்) BA என குறிப்பிடப்படுகிறது. ஹைட்ரஜனேற்றம் அல்லது வெற்றிட நிலையில் உயர் வெப்பநிலை வெப்ப சிகிச்சை, ஒருபுறம், உள் அழுத்தத்தை நீக்குகிறது, மறுபுறம், உருவ அமைப்பை மேம்படுத்தவும் ஆற்றல் அளவைக் குறைக்கவும் குழாயின் மேற்பரப்பில் ஒரு செயலற்ற படத்தை உருவாக்குகிறது, ஆனால் இல்லை. மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையை அதிகரிக்க - பொதுவாக GN2 , CDA மற்றும் செயலற்ற மந்த வாயுக்களுக்கு ஏற்றது.
C. ஊறுகாய் & செயலற்ற/ இரசாயன பாலிஷ் செய்யப்பட்டவை (ஊறுகாய் & செயலற்ற/ இரசாயன பாலிஷ் செய்யப்பட்டவை) AP மற்றும் CP என குறிப்பிடப்படுகின்றன. குழாயின் ஊறுகாய் அல்லது செயலிழப்பு மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையை அதிகரிக்காது, ஆனால் அது மேற்பரப்பில் மீதமுள்ள துகள்களை அகற்றி ஆற்றல் மட்டத்தை குறைக்கலாம், ஆனால் இது இன்டர்லேயர்களின் எண்ணிக்கையை குறைக்காது - பொதுவாக தொழில்துறை தர குழாய்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
V இது ஒரு வெற்றிட நிலையில் வில் நிலைமைகளின் கீழ் மீண்டும் செயலாக்கப்பட்டது, இது அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையை திறம்பட மேம்படுத்துகிறது. பட்டம் - பொதுவாக மிகவும் அரிக்கும் உயர் தூய்மை எலக்ட்ரானிக் கிரேடு வாயுக்களுக்கு ஏற்றது, அதாவது: BCL3, WF6, CL2, HBr, போன்றவை. 
பின் நேரம்: ஏப்-08-2024