மின்னணு பொறியியல் அமைப்புகளில் உயர் தூய்மை எரிவாயு குழாய்களின் பயன்பாடு

909 ப்ராஜெக்ட் மிகப் பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுத் தொழிற்சாலையானது, ஒன்பதாவது ஐந்தாண்டுத் திட்டத்தில் 0.18 மைக்ரான் கோடு அகலம் மற்றும் 200 மிமீ விட்டம் கொண்ட சில்லுகளைத் தயாரிப்பதற்காக எனது நாட்டின் மின்னணுத் துறையின் முக்கிய கட்டுமானத் திட்டமாகும்.

மிகப் பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுகளின் உற்பத்தித் தொழில்நுட்பமானது, மைக்ரோ-மெஷினிங் போன்ற உயர்-துல்லிய தொழில்நுட்பங்களை உள்ளடக்கியது மட்டுமல்லாமல், வாயு தூய்மையின் மீது அதிக தேவைகளையும் வைக்கிறது.
ப்ராஜெக்ட் 909 க்கான மொத்த எரிவாயு விநியோகம், அமெரிக்காவின் பிரக்ஸேர் யூட்டிலிட்டி கேஸ் கோ. லிமிடெட் மற்றும் ஷாங்காய் உள்ள தொடர்புடைய கட்சிகள் இணைந்து ஒரு எரிவாயு உற்பத்தி ஆலையை நிறுவுவதற்கு ஒரு கூட்டு முயற்சியால் வழங்கப்படுகிறது. எரிவாயு உற்பத்தி ஆலை 909 திட்ட தொழிற்சாலைக்கு அருகில் உள்ளது. கட்டிடம், சுமார் 15,000 சதுர மீட்டர் பரப்பளவைக் கொண்டுள்ளது. பல்வேறு வாயுக்களின் தூய்மை மற்றும் வெளியீட்டுத் தேவைகள்

உயர் தூய்மை நைட்ரஜன் (PN2), நைட்ரஜன் (N2) மற்றும் உயர் தூய்மை ஆக்ஸிஜன் (PO2) ஆகியவை காற்றைப் பிரிப்பதன் மூலம் உற்பத்தி செய்யப்படுகின்றன. உயர் தூய்மை ஹைட்ரஜன் (PH2) மின்னாற்பகுப்பு மூலம் உற்பத்தி செய்யப்படுகிறது. ஆர்கான் (Ar) மற்றும் ஹீலியம் (He) ஆகியவை அவுட்சோர்ஸ் மூலம் வாங்கப்படுகின்றன. ப்ராஜெக்ட் 909 இல் பயன்படுத்துவதற்கு அரை-எரிவாயு சுத்திகரிக்கப்பட்டு வடிகட்டப்படுகிறது. சிறப்பு எரிவாயு பாட்டில்களில் வழங்கப்படுகிறது, மேலும் எரிவாயு பாட்டில் கேபினட் ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்தி ஆலையின் துணைப் பட்டறையில் அமைந்துள்ளது.
மற்ற வாயுக்கள் சுத்தமான உலர் அழுத்தப்பட்ட காற்று CDA அமைப்பு, 4185m3/h பயன்பாட்டு அளவு, -70 ° C அழுத்தம் பனி புள்ளி மற்றும் பயன்படுத்தும் இடத்தில் வாயுவில் 0.01um க்கு மேல் இல்லாத துகள் அளவு ஆகியவை அடங்கும். சுருக்கப்பட்ட காற்று (BA) அமைப்பு, பயன்பாட்டு அளவு 90m3/h, அழுத்தம் பனி புள்ளி 2℃, பயன்படுத்தும் இடத்தில் வாயுவில் உள்ள துகள் அளவு 0.3um ஐ விட அதிகமாக இல்லை, செயல்முறை வெற்றிட (PV) அமைப்பு, பயன்பாட்டு அளவு 582m3/h, பயன்பாட்டில் வெற்றிட பட்டம் -79993Pa . துப்புரவு வெற்றிட (HV) அமைப்பு, பயன்பாட்டு அளவு 1440m3/h, பயன்பாட்டு புள்ளியில் வெற்றிட அளவு -59995 Pa. காற்று அமுக்கி அறை மற்றும் வெற்றிட பம்ப் அறை இரண்டும் 909 திட்ட தொழிற்சாலை பகுதியில் அமைந்துள்ளது.

குழாய் பொருட்கள் மற்றும் பாகங்கள் தேர்வு
VLSI உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் எரிவாயு மிக உயர்ந்த தூய்மைத் தேவைகளைக் கொண்டுள்ளது.உயர் தூய்மை எரிவாயு குழாய்கள்அவை வழக்கமாக சுத்தமான உற்பத்திச் சூழல்களில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் அவற்றின் தூய்மைக் கட்டுப்பாடு பயன்பாட்டில் உள்ள இடத்தின் தூய்மை நிலைக்கு இணக்கமாகவோ அல்லது அதிகமாகவோ இருக்க வேண்டும்! கூடுதலாக, உயர் தூய்மை எரிவாயு குழாய்கள் பெரும்பாலும் சுத்தமான உற்பத்தி சூழல்களில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. தூய ஹைட்ரஜன் (PH2), உயர் தூய்மை ஆக்ஸிஜன் (PO2) மற்றும் சில சிறப்பு வாயுக்கள் எரியக்கூடிய, வெடிக்கும், எரிப்பு-ஆதரவு அல்லது நச்சு வாயுக்கள். எரிவாயு குழாய் அமைப்பு முறையற்ற முறையில் வடிவமைக்கப்பட்டிருந்தால் அல்லது பொருட்கள் தவறாக தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டிருந்தால், எரிவாயு புள்ளியில் பயன்படுத்தப்படும் வாயுவின் தூய்மை குறைவது மட்டுமல்லாமல், அது தோல்வியடையும். இது செயல்முறை தேவைகளை பூர்த்தி செய்கிறது, ஆனால் இது பயன்படுத்த பாதுகாப்பற்றது மற்றும் சுத்தமான தொழிற்சாலைக்கு மாசு ஏற்படுத்தும், இது சுத்தமான தொழிற்சாலையின் பாதுகாப்பு மற்றும் தூய்மையை பாதிக்கும்.
பயன்பாட்டின் கட்டத்தில் உயர்-தூய்மை வாயுவின் தரத்தின் உத்தரவாதம் எரிவாயு உற்பத்தி, சுத்திகரிப்பு உபகரணங்கள் மற்றும் வடிகட்டிகளின் துல்லியத்தை மட்டும் சார்ந்துள்ளது, ஆனால் குழாய் அமைப்பில் உள்ள பல காரணிகளால் பெரிய அளவில் பாதிக்கப்படுகிறது. எரிவாயு உற்பத்தி உபகரணங்கள், சுத்திகரிப்பு உபகரணங்கள் மற்றும் வடிப்பான்களை நாங்கள் நம்பியிருந்தால், முறையற்ற எரிவாயு குழாய் அமைப்பு வடிவமைப்பு அல்லது பொருள் தேர்வுக்கு ஈடுசெய்ய எண்ணற்ற அதிக துல்லியமான தேவைகளை சுமத்துவது தவறானது.
909 திட்டத்தின் வடிவமைப்பு செயல்பாட்டின் போது, ​​"சுத்தமான தாவரங்களின் வடிவமைப்பிற்கான குறியீடு" GBJ73-84 (தற்போதைய தரநிலை (GB50073-2001)), "அமுக்கப்பட்ட விமான நிலையங்களின் வடிவமைப்புக்கான குறியீடு" GBJ29-90, "குறியீடு" ஆகியவற்றைப் பின்பற்றினோம். ஆக்ஸிஜன் நிலையங்களின் வடிவமைப்பிற்காக” GB50030-91 , “ஹைட்ரஜன் மற்றும் ஆக்ஸிஜன் நிலையங்களின் வடிவமைப்புக்கான குறியீடு” GB50177-93, மற்றும் பைப்லைன் பொருட்கள் மற்றும் துணைப்பொருட்களைத் தேர்ந்தெடுப்பதற்கான தொடர்புடைய தொழில்நுட்ப நடவடிக்கைகள். "சுத்தமான தாவரங்களின் வடிவமைப்பிற்கான குறியீடு" பைப்லைன் பொருட்கள் மற்றும் வால்வுகளின் தேர்வை பின்வருமாறு குறிப்பிடுகிறது:

(1) வாயுத் தூய்மையானது 99.999% ஐ விட அதிகமாகவோ அல்லது சமமாகவோ இருந்தால் மற்றும் பனிப்புள்ளி -76°C ஐ விடக் குறைவாக இருந்தால், 00Cr17Ni12Mo2Ti குறைந்த கார்பன் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய் (316L) மின்பாலிஷ் செய்யப்பட்ட உள் சுவர் அல்லது OCr18Ni9 துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய் (304) எலக்ட்ரோ பாலிஷ் செய்யப்பட்ட உள் சுவர் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும். வால்வு உதரவிதான வால்வாக அல்லது பெல்லோஸ் வால்வாக இருக்க வேண்டும்.

(2) வாயுத் தூய்மையானது 99.99%க்கு அதிகமாகவோ அல்லது அதற்குச் சமமாகவோ இருந்தால் மற்றும் பனிப்புள்ளி -60°Cக்குக் குறைவாகவோ இருந்தால், OCr18Ni9 துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாயை (304) எலக்ட்ரோ பாலிஷ் செய்யப்பட்ட உள்சுவருடன் பயன்படுத்த வேண்டும். எரியக்கூடிய எரிவாயு குழாய்களுக்குப் பயன்படுத்தப்பட வேண்டிய பெல்லோஸ் வால்வுகளைத் தவிர, மற்ற எரிவாயு குழாய்களுக்கு பந்து வால்வுகள் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும்.

(3) உலர்ந்த சுருக்கப்பட்ட காற்றின் பனிப் புள்ளி -70°C ஐ விடக் குறைவாக இருந்தால், OCr18Ni9 துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய் (304) பளபளப்பான உள்சுவரைப் பயன்படுத்த வேண்டும். பனிப்புள்ளி -40℃க்கு குறைவாக இருந்தால், OCr18Ni9 துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய் (304) அல்லது ஹாட் டிப் கால்வனேற்றப்பட்ட தடையற்ற எஃகு குழாய் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும். வால்வு ஒரு பெல்லோஸ் வால்வாக அல்லது ஒரு பந்து வால்வாக இருக்க வேண்டும்.

(4) வால்வு பொருள் இணைக்கும் குழாய் பொருளுடன் இணக்கமாக இருக்க வேண்டும்.

விவரக்குறிப்புகள் மற்றும் தொடர்புடைய தொழில்நுட்ப நடவடிக்கைகளின் தேவைகளின்படி, குழாய் பொருட்களைத் தேர்ந்தெடுக்கும்போது பின்வரும் அம்சங்களை நாங்கள் முக்கியமாகக் கருதுகிறோம்:

(1) குழாய் பொருட்களின் காற்று ஊடுருவல் சிறியதாக இருக்க வேண்டும். வெவ்வேறு பொருட்களின் குழாய்கள் வெவ்வேறு காற்று ஊடுருவலைக் கொண்டுள்ளன. அதிக காற்று ஊடுருவக்கூடிய குழாய்கள் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டால், மாசுபாட்டை அகற்ற முடியாது. துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்கள் மற்றும் செப்பு குழாய்கள் வளிமண்டலத்தில் ஆக்ஸிஜனின் ஊடுருவல் மற்றும் அரிப்பைத் தடுப்பதில் சிறந்தது. இருப்பினும், துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்கள் செப்பு குழாய்களை விட குறைவான செயலில் இருப்பதால், செப்பு குழாய்கள் வளிமண்டலத்தில் உள்ள ஈரப்பதத்தை அவற்றின் உள் மேற்பரப்பில் ஊடுருவ அனுமதிக்கும். எனவே, உயர் தூய்மை எரிவாயு குழாய்களுக்கான குழாய்களைத் தேர்ந்தெடுக்கும்போது, ​​துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்கள் முதல் தேர்வாக இருக்க வேண்டும்.

(2) குழாய் பொருளின் உள் மேற்பரப்பு உறிஞ்சப்படுகிறது மற்றும் வாயுவை பகுப்பாய்வு செய்வதில் ஒரு சிறிய விளைவைக் கொண்டுள்ளது. துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய் செயலாக்கப்பட்ட பிறகு, ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு வாயு அதன் உலோக லட்டியில் தக்கவைக்கப்படும். உயர் தூய்மை வாயு வழியாக செல்லும் போது, ​​வாயுவின் இந்த பகுதி காற்று ஓட்டத்தில் நுழைந்து மாசுபாட்டை ஏற்படுத்தும். அதே நேரத்தில், உறிஞ்சுதல் மற்றும் பகுப்பாய்வு காரணமாக, குழாயின் உள் மேற்பரப்பில் உள்ள உலோகம் ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு தூள் உற்பத்தி செய்யும், இதனால் உயர் தூய்மை வாயுவுக்கு மாசு ஏற்படுகிறது. 99.999% அல்லது ppb நிலைக்கு மேல் தூய்மை கொண்ட குழாய் அமைப்புகளுக்கு, 00Cr17Ni12Mo2Ti குறைந்த கார்பன் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய் (316L) பயன்படுத்தப்பட வேண்டும்.

(3) துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களின் தேய்மான எதிர்ப்பு செப்பு குழாய்களை விட சிறந்தது, மேலும் காற்று ஓட்டம் அரிப்பினால் உருவாகும் உலோக தூசி ஒப்பீட்டளவில் குறைவாக உள்ளது. தூய்மைக்கான அதிகத் தேவைகளைக் கொண்ட உற்பத்திப் பட்டறைகள் 00Cr17Ni12Mo2Ti குறைந்த கார்பன் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்கள் (316L) அல்லது OCr18Ni9 துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்கள் (304) ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்தலாம், செப்புக் குழாய்களைப் பயன்படுத்தக்கூடாது.

(4) 99.999% அல்லது ppb அல்லது ppt அளவுகளுக்கு மேல் எரிவாயு தூய்மை கொண்ட குழாய் அமைப்புகளுக்கு அல்லது "சுத்தமான தொழிற்சாலை வடிவமைப்புக் குறியீட்டில்" குறிப்பிடப்பட்டுள்ள N1-N6 காற்றின் தூய்மை நிலைகளைக் கொண்ட சுத்தமான அறைகளில், அல்ட்ரா-சுத்தமான குழாய்கள் அல்லதுEP அல்ட்ரா-க்ளீன் குழாய்கள்பயன்படுத்த வேண்டும். "மிகவும் மென்மையான உள் மேற்பரப்புடன் சுத்தமான குழாயை" சுத்தம் செய்யவும்.

(5) உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் சில சிறப்பு எரிவாயு குழாய் அமைப்புகள் அதிக அரிக்கும் வாயுக்கள். இந்த குழாய் அமைப்புகளில் உள்ள குழாய்கள் அரிப்பை எதிர்க்கும் எஃகு குழாய்களை குழாய்களாகப் பயன்படுத்த வேண்டும். இல்லையெனில், குழாய்கள் அரிப்பு காரணமாக சேதமடையும். மேற்பரப்பில் அரிப்பு புள்ளிகள் ஏற்பட்டால், சாதாரண தடையற்ற எஃகு குழாய்கள் அல்லது கால்வனேற்றப்பட்ட பற்றவைக்கப்பட்ட எஃகு குழாய்கள் பயன்படுத்தப்படாது.

(6) கொள்கையளவில், அனைத்து எரிவாயு குழாய் இணைப்புகளும் பற்றவைக்கப்பட வேண்டும். கால்வனேற்றப்பட்ட எஃகு குழாய்களின் வெல்டிங் கால்வனேற்றப்பட்ட அடுக்கை அழித்துவிடும் என்பதால், சுத்தமான அறைகளில் குழாய்களுக்கு கால்வனேற்றப்பட்ட எஃகு குழாய்கள் பயன்படுத்தப்படுவதில்லை.

மேலே உள்ள காரணிகளைக் கருத்தில் கொண்டு, &7& திட்டத்தில் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட எரிவாயு குழாய் குழாய்கள் மற்றும் வால்வுகள் பின்வருமாறு:

உயர்-தூய்மை நைட்ரஜன் (PN2) அமைப்பு குழாய்கள் 00Cr17Ni12Mo2Ti குறைந்த கார்பன் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களால் (316L) எலக்ட்ரோபாலிஷ் செய்யப்பட்ட உள் சுவர்களுடன் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் வால்வுகள் அதே பொருளின் துருப்பிடிக்காத எஃகு பெல்லோஸ் வால்வுகளால் செய்யப்படுகின்றன.
நைட்ரஜன் (N2) அமைப்புக் குழாய்கள் 00Cr17Ni12Mo2Ti குறைந்த கார்பன் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களால் (316L) எலக்ட்ரோபாலிஷ் செய்யப்பட்ட உள் சுவர்களுடன் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் வால்வுகள் அதே பொருளின் துருப்பிடிக்காத எஃகு பெல்லோஸ் வால்வுகளால் செய்யப்படுகின்றன.
உயர்-தூய்மை ஹைட்ரஜன் (PH2) அமைப்புக் குழாய்கள் 00Cr17Ni12Mo2Ti குறைந்த கார்பன் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களால் (316L) எலக்ட்ரோபாலிஷ் செய்யப்பட்ட உள் சுவர்களுடன் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் வால்வுகள் அதே பொருளின் துருப்பிடிக்காத எஃகு பெல்லோஸ் வால்வுகளால் செய்யப்படுகின்றன.
உயர்-தூய்மை ஆக்ஸிஜன் (PO2) அமைப்பு குழாய்கள் 00Cr17Ni12Mo2Ti குறைந்த கார்பன் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களால் (316L) எலக்ட்ரோ-பாலிஷ் செய்யப்பட்ட உள் சுவர்களுடன் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் வால்வுகள் அதே பொருளின் துருப்பிடிக்காத எஃகு பெல்லோஸ் வால்வுகளால் செய்யப்படுகின்றன.
ஆர்கான் (Ar) சிஸ்டம் பைப்புகள் 00Cr17Ni12Mo2Ti குறைந்த கார்பன் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களால் (316L) எலக்ட்ரோபாலிஷ் செய்யப்பட்ட உள் சுவர்களுடன் தயாரிக்கப்படுகின்றன, மேலும் அதே பொருளின் துருப்பிடிக்காத எஃகு பெல்லோஸ் வால்வுகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
ஹீலியம் (He) அமைப்பு குழாய்கள் 00Cr17Ni12Mo2Ti குறைந்த கார்பன் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களால் (316L) எலக்ட்ரோபாலிஷ் செய்யப்பட்ட உள் சுவர்களுடன் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் வால்வுகள் அதே பொருளின் துருப்பிடிக்காத எஃகு பெல்லோஸ் வால்வுகளால் செய்யப்படுகின்றன.
சுத்தமான உலர் சுருக்கப்பட்ட காற்று (CDA) அமைப்பு குழாய்கள் OCr18Ni9 துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களால் (304) பளபளப்பான உள் சுவர்களுடன் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் வால்வுகள் அதே பொருளின் துருப்பிடிக்காத எஃகு பெல்லோஸ் வால்வுகளால் செய்யப்படுகின்றன.
சுவாச சுருக்கப்பட்ட காற்று (BA) அமைப்பு குழாய்கள் OCr18Ni9 துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களால் (304) பளபளப்பான உள் சுவர்களுடன் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் வால்வுகள் அதே பொருளின் துருப்பிடிக்காத எஃகு பந்து வால்வுகளால் செய்யப்படுகின்றன.
செயல்முறை வெற்றிட (PV) அமைப்பு குழாய்கள் UPVC குழாய்களால் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் வால்வுகள் அதே பொருளால் செய்யப்பட்ட வெற்றிட பட்டாம்பூச்சி வால்வுகளால் செய்யப்படுகின்றன.
துப்புரவு வெற்றிட (HV) அமைப்பு குழாய்கள் UPVC குழாய்களால் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் வால்வுகள் அதே பொருளால் செய்யப்பட்ட வெற்றிட பட்டாம்பூச்சி வால்வுகளால் செய்யப்படுகின்றன.
சிறப்பு எரிவாயு அமைப்பின் குழாய்கள் அனைத்தும் 00Cr17Ni12Mo2Ti குறைந்த கார்பன் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களால் (316L) எலக்ட்ரோபாலிஷ் செய்யப்பட்ட உள் சுவர்களுடன் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் வால்வுகள் அதே பொருளின் துருப்பிடிக்காத எஃகு பெல்லோஸ் வால்வுகளால் செய்யப்படுகின்றன.

3 குழாய்களின் கட்டுமானம் மற்றும் நிறுவல்
3.1 “சுத்தமான தொழிற்சாலை கட்டிட வடிவமைப்புக் குறியீடு” பிரிவு 8.3 குழாய் இணைப்புகளுக்கான பின்வரும் விதிகளை வழங்குகிறது:
(1) குழாய் இணைப்புகள் வெல்டிங் செய்யப்பட வேண்டும், ஆனால் ஹாட் டிப் கால்வனேற்றப்பட்ட எஃகு குழாய்கள் திரிக்கப்பட்டிருக்க வேண்டும். திரிக்கப்பட்ட இணைப்புகளின் சீல் பொருள் இந்த விவரக்குறிப்பின் 8.3.3 இன் தேவைகளுக்கு இணங்க வேண்டும்.
(2) துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்கள் ஆர்கான் ஆர்க் வெல்டிங் மற்றும் பட் வெல்டிங் அல்லது சாக்கெட் வெல்டிங் மூலம் இணைக்கப்பட வேண்டும், ஆனால் உயர் தூய்மை எரிவாயு குழாய்கள் உள் சுவரில் குறிகள் இல்லாமல் பட் வெல்டிங் மூலம் இணைக்கப்பட வேண்டும்.
(3) பைப்லைன்கள் மற்றும் உபகரணங்களுக்கு இடையேயான இணைப்பு, உபகரணங்களின் இணைப்புத் தேவைகளுக்கு இணங்க வேண்டும். குழாய் இணைப்புகளைப் பயன்படுத்தும் போது, ​​உலோக குழாய்களைப் பயன்படுத்த வேண்டும்.
(4) குழாய்கள் மற்றும் வால்வுகளுக்கு இடையேயான இணைப்பு பின்வரும் விதிமுறைகளுக்கு இணங்க வேண்டும்

① உயர் தூய்மை எரிவாயு குழாய்கள் மற்றும் வால்வுகளை இணைக்கும் சீல் பொருள், உற்பத்தி செயல்முறை மற்றும் எரிவாயு பண்புகளின் தேவைகளுக்கு ஏற்ப உலோக கேஸ்கட்கள் அல்லது இரட்டை ஃபெரூல்களைப் பயன்படுத்த வேண்டும்.
② திரிக்கப்பட்ட அல்லது விளிம்பு இணைப்பில் உள்ள சீல் பொருள் பாலிடெட்ராஃப்ளூரோஎத்திலீனாக இருக்க வேண்டும்.
3.2 விவரக்குறிப்புகள் மற்றும் தொடர்புடைய தொழில்நுட்ப நடவடிக்கைகளின் தேவைகளின்படி, உயர் தூய்மை எரிவாயு குழாய்களின் இணைப்பு முடிந்தவரை பற்றவைக்கப்பட வேண்டும். வெல்டிங் போது நேரடி பட் வெல்டிங் தவிர்க்கப்பட வேண்டும். குழாய் சட்டைகள் அல்லது முடிக்கப்பட்ட மூட்டுகள் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும். குழாய் சட்டைகள் குழாய்களின் அதே பொருள் மற்றும் உள் மேற்பரப்பு மென்மையால் செய்யப்பட வேண்டும். நிலை, வெல்டிங் போது, ​​வெல்டிங் பகுதியின் ஆக்சிஜனேற்றத்தைத் தடுக்க, தூய பாதுகாப்பு வாயு வெல்டிங் குழாயில் அறிமுகப்படுத்தப்பட வேண்டும். துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களுக்கு, ஆர்கான் ஆர்க் வெல்டிங் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும், அதே தூய்மையின் ஆர்கான் வாயு குழாயில் அறிமுகப்படுத்தப்பட வேண்டும். திரிக்கப்பட்ட இணைப்பு அல்லது திரிக்கப்பட்ட இணைப்பு பயன்படுத்தப்பட வேண்டும். விளிம்புகளை இணைக்கும் போது, ​​திரிக்கப்பட்ட இணைப்புகளுக்கு ஃபெர்ரூல்கள் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும். உலோக கேஸ்கட்களைப் பயன்படுத்த வேண்டிய ஆக்ஸிஜன் குழாய்கள் மற்றும் ஹைட்ரஜன் குழாய்களைத் தவிர, மற்ற குழாய்கள் பாலிடெட்ராஃப்ளூரோஎத்திலீன் கேஸ்கட்களைப் பயன்படுத்த வேண்டும். கேஸ்கட்களில் சிறிதளவு சிலிகான் ரப்பரைப் பயன்படுத்துவதும் பயனுள்ளதாக இருக்கும். சீல் விளைவை மேம்படுத்தவும். ஃபிளேன்ஜ் இணைப்புகள் செய்யப்படும்போது இதே போன்ற நடவடிக்கைகள் எடுக்கப்பட வேண்டும்.
நிறுவல் பணி தொடங்கும் முன், குழாய்களின் விரிவான காட்சி ஆய்வு,பொருத்துதல்கள், வால்வுகள் போன்றவை மேற்கொள்ளப்பட வேண்டும். சாதாரண துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களின் உள் சுவர் நிறுவலுக்கு முன் ஊறுகாய் செய்யப்பட வேண்டும். ஆக்சிஜன் பைப்லைன்களின் குழாய்கள், பொருத்துதல்கள், வால்வுகள் போன்றவை எண்ணெய்யிலிருந்து கண்டிப்பாக தடை செய்யப்பட வேண்டும், மேலும் நிறுவலுக்கு முன் பொருத்தமான தேவைகளுக்கு ஏற்ப கண்டிப்பாக டிக்ரீஸ் செய்யப்பட வேண்டும்.
கணினி நிறுவப்பட்டு பயன்பாட்டிற்கு வருவதற்கு முன், விநியோகம் மற்றும் விநியோக குழாய் அமைப்பானது வழங்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை வாயுவுடன் முழுமையாக சுத்தப்படுத்தப்பட வேண்டும். இது நிறுவல் செயல்பாட்டின் போது தற்செயலாக கணினியில் விழுந்த தூசி துகள்களை வீசுவது மட்டுமல்லாமல், குழாய் அமைப்பில் உலர்த்தும் பாத்திரத்தை வகிக்கிறது, குழாய் சுவரால் உறிஞ்சப்பட்ட ஈரப்பதம் கொண்ட வாயுவின் ஒரு பகுதியை நீக்குகிறது மற்றும் குழாய் பொருள் கூட.

4. குழாய் அழுத்தம் சோதனை மற்றும் ஏற்றுக்கொள்ளல்
(1) அமைப்பு நிறுவப்பட்ட பிறகு, சிறப்பு எரிவாயு குழாய்களில் அதிக நச்சு திரவங்களைக் கொண்டு செல்லும் குழாய்களின் 100% ரேடியோகிராஃபிக் ஆய்வு மேற்கொள்ளப்பட வேண்டும், மேலும் அவற்றின் தரம் நிலை II ஐ விட குறைவாக இருக்கக்கூடாது. மற்ற குழாய்கள் மாதிரி ரேடியோகிராஃபிக் ஆய்வுக்கு உட்பட்டது, மற்றும் மாதிரி ஆய்வு விகிதம் 5% க்கும் குறைவாக இருக்கக்கூடாது, தரம் III ஐ விட குறைவாக இருக்கக்கூடாது.
(2) அழிவில்லாத ஆய்வில் தேர்ச்சி பெற்ற பிறகு, அழுத்தம் சோதனை மேற்கொள்ளப்பட வேண்டும். குழாய் அமைப்பின் வறட்சி மற்றும் தூய்மையை உறுதி செய்வதற்காக, ஒரு ஹைட்ராலிக் அழுத்தம் சோதனை மேற்கொள்ளப்படக்கூடாது, ஆனால் ஒரு நியூமேடிக் அழுத்தம் சோதனை பயன்படுத்தப்பட வேண்டும். சுத்தமான அறையின் தூய்மை நிலைக்கு பொருந்தக்கூடிய நைட்ரஜன் அல்லது அழுத்தப்பட்ட காற்றைப் பயன்படுத்தி காற்றழுத்த சோதனை மேற்கொள்ளப்பட வேண்டும். குழாயின் சோதனை அழுத்தம் வடிவமைப்பு அழுத்தத்தை விட 1.15 மடங்கு அதிகமாகவும், வெற்றிட குழாயின் சோதனை அழுத்தம் 0.2MPa ஆகவும் இருக்க வேண்டும். சோதனையின் போது, ​​அழுத்தம் படிப்படியாகவும் மெதுவாகவும் அதிகரிக்க வேண்டும். அழுத்தம் சோதனை அழுத்தத்தில் 50% ஆக உயரும் போது, ​​அசாதாரணம் அல்லது கசிவு இல்லை எனில், அழுத்தத்தை படிப்படியாக 10% சோதனை அழுத்தத்தை அதிகரிக்கவும், சோதனை அழுத்தம் வரை ஒவ்வொரு மட்டத்திலும் 3 நிமிடங்களுக்கு அழுத்தத்தை உறுதிப்படுத்தவும். . 10 நிமிடங்களுக்கு அழுத்தத்தை உறுதிப்படுத்தவும், பின்னர் வடிவமைப்பு அழுத்தத்திற்கு அழுத்தத்தை குறைக்கவும். கசிவு கண்டறிதலின் தேவைகளுக்கு ஏற்ப அழுத்தம் நிறுத்த நேரம் தீர்மானிக்கப்பட வேண்டும். கசிவு இல்லை என்றால் foaming முகவர் தகுதி.
(3) வெற்றிட அமைப்பு அழுத்தம் சோதனையில் தேர்ச்சி பெற்ற பிறகு, அது வடிவமைப்பு ஆவணங்களின்படி 24-மணிநேர வெற்றிட பட்டப்படிப்பை நடத்த வேண்டும், மேலும் அழுத்தம் விகிதம் 5% ஐ விட அதிகமாக இருக்கக்கூடாது.
(4) கசிவு சோதனை. பிபிபி மற்றும் பிபிடி கிரேடு பைப்லைன் அமைப்புகளுக்கு, தொடர்புடைய விவரக்குறிப்புகளின்படி, எந்த கசிவும் தகுதி வாய்ந்ததாக கருதப்படக்கூடாது, ஆனால் வடிவமைப்பின் போது கசிவு அளவு சோதனை பயன்படுத்தப்படுகிறது, அதாவது காற்று இறுக்கம் சோதனைக்குப் பிறகு கசிவு அளவு சோதனை செய்யப்படுகிறது. அழுத்தம் வேலை அழுத்தம், மற்றும் அழுத்தம் 24 மணி நேரம் நிறுத்தப்படும். சராசரி மணிநேர கசிவு தகுதியின்படி 50ppm ஐ விட குறைவாகவோ அல்லது சமமாகவோ உள்ளது. கசிவு கணக்கீடு பின்வருமாறு:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
சூத்திரத்தில்:
ஒரு மணி நேர கசிவு (%)
P1-சோதனையின் தொடக்கத்தில் முழுமையான அழுத்தம் (Pa)
P2-சோதனையின் முடிவில் முழுமையான அழுத்தம் (Pa)
சோதனையின் தொடக்கத்தில் T1-முழுமையான வெப்பநிலை (K)
சோதனையின் முடிவில் T2-முழுமையான வெப்பநிலை (K)