மின்னணு பொறியியல் அமைப்புகளில் உயர் தூய்மை எரிவாயு குழாய்களின் பயன்பாடு.

909 திட்டம் மிகப் பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்று தொழிற்சாலை என்பது ஒன்பதாவது ஐந்தாண்டுத் திட்டத்தின் போது எனது நாட்டின் மின்னணுத் துறையின் ஒரு முக்கிய கட்டுமானத் திட்டமாகும், இது 0.18 மைக்ரான் வரி அகலமும் 200 மிமீ விட்டமும் கொண்ட சில்லுகளை உற்பத்தி செய்கிறது.

மிகப் பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் உற்பத்தி தொழில்நுட்பம், மைக்ரோ-மெஷினிங் போன்ற உயர்-துல்லிய தொழில்நுட்பங்களை உள்ளடக்கியது மட்டுமல்லாமல், வாயு தூய்மையின் மீது அதிக தேவைகளையும் வைக்கிறது.
ப்ராஜெக்ட் 909க்கான மொத்த எரிவாயு விநியோகம் அமெரிக்காவின் பிராக்ஸேர் யூட்டிலிட்டி கேஸ் கோ., லிமிடெட் மற்றும் ஷாங்காயில் உள்ள தொடர்புடைய தரப்பினருக்கு இடையேயான கூட்டு முயற்சியால் வழங்கப்படுகிறது. எரிவாயு உற்பத்தி ஆலை 909 திட்ட தொழிற்சாலை கட்டிடத்திற்கு அருகில் உள்ளது, இது சுமார் 15,000 சதுர மீட்டர் பரப்பளவைக் கொண்டுள்ளது. பல்வேறு வாயுக்களின் தூய்மை மற்றும் வெளியீட்டுத் தேவைகள்

அதிக தூய்மையான நைட்ரஜன் (PN2), நைட்ரஜன் (N2), மற்றும் அதிக தூய்மையான ஆக்ஸிஜன் (PO2) ஆகியவை காற்றுப் பிரிப்பால் உற்பத்தி செய்யப்படுகின்றன. அதிக தூய்மையான ஹைட்ரஜன் (PH2) மின்னாற்பகுப்பு மூலம் உற்பத்தி செய்யப்படுகிறது. ஆர்கான் (Ar) மற்றும் ஹீலியம் (He) ஆகியவை வெளியாட்களிடமிருந்து வாங்கப்படுகின்றன. ப்ராஜெக்ட் 909 இல் பயன்படுத்துவதற்காக அரை-வாயு சுத்திகரிக்கப்பட்டு வடிகட்டப்படுகிறது. சிறப்பு எரிவாயு பாட்டில்களில் வழங்கப்படுகிறது, மேலும் எரிவாயு பாட்டில் அலமாரி ஒருங்கிணைந்த சுற்று உற்பத்தி ஆலையின் துணைப் பட்டறையில் அமைந்துள்ளது.
மற்ற வாயுக்களில் சுத்தமான உலர் அழுத்தப்பட்ட காற்று CDA அமைப்பும் அடங்கும், இதன் பயன்பாட்டு அளவு 4185m3/h, அழுத்த பனி புள்ளி -70°C, மற்றும் பயன்பாட்டு இடத்தில் வாயுவில் 0.01um க்கு மேல் இல்லாத துகள் அளவு. சுருக்கப்பட்ட காற்று (BA) அமைப்பை சுவாசித்தல், பயன்பாட்டு அளவு 90m3/h, அழுத்த பனி புள்ளி 2℃, பயன்பாட்டு இடத்தில் வாயுவில் துகள் அளவு 0.3um ஐ விட அதிகமாக இல்லை, செயல்முறை வெற்றிடம் (PV) அமைப்பு, பயன்பாட்டு அளவு 582m3/h, பயன்பாட்டு இடத்தில் வெற்றிட அளவு -79993Pa. வெற்றிடத்தை சுத்தம் செய்யும் (HV) அமைப்பு, பயன்பாட்டு அளவு 1440m3/h, பயன்பாட்டு புள்ளியில் வெற்றிட அளவு -59995 Pa. காற்று அமுக்கி அறை மற்றும் வெற்றிட பம்ப் அறை இரண்டும் 909 திட்ட தொழிற்சாலை பகுதியில் அமைந்துள்ளன.

குழாய் பொருட்கள் மற்றும் பாகங்கள் தேர்வு
VLSI உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் எரிவாயு மிக உயர்ந்த தூய்மைத் தேவைகளைக் கொண்டுள்ளது.உயர் தூய்மை எரிவாயு குழாய்கள்பொதுவாக சுத்தமான உற்பத்தி சூழல்களில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் அவற்றின் தூய்மை கட்டுப்பாடு பயன்பாட்டில் உள்ள இடத்தின் தூய்மை நிலைக்கு ஒத்ததாகவோ அல்லது அதிகமாகவோ இருக்க வேண்டும்! கூடுதலாக, உயர்-தூய்மை எரிவாயு குழாய்வழிகள் பெரும்பாலும் சுத்தமான உற்பத்தி சூழல்களில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. தூய ஹைட்ரஜன் (PH2), உயர்-தூய்மை ஆக்ஸிஜன் (PO2) மற்றும் சில சிறப்பு வாயுக்கள் எரியக்கூடிய, வெடிக்கும், எரிப்பு-ஆதரவு அல்லது நச்சு வாயுக்கள். எரிவாயு குழாய் அமைப்பு முறையற்ற முறையில் வடிவமைக்கப்பட்டாலோ அல்லது பொருட்கள் தவறாக தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டாலோ, எரிவாயு புள்ளியில் பயன்படுத்தப்படும் வாயுவின் தூய்மை குறைவது மட்டுமல்லாமல், அது தோல்வியடையும். இது செயல்முறை தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது, ஆனால் அதைப் பயன்படுத்துவது பாதுகாப்பற்றது மற்றும் சுத்தமான தொழிற்சாலைக்கு மாசுபாட்டை ஏற்படுத்தும், இது சுத்தமான தொழிற்சாலையின் பாதுகாப்பு மற்றும் தூய்மையைப் பாதிக்கும்.
பயன்பாட்டு இடத்தில் உயர்-தூய்மை வாயுவின் தரத்திற்கான உத்தரவாதம், எரிவாயு உற்பத்தி, சுத்திகரிப்பு உபகரணங்கள் மற்றும் வடிகட்டிகளின் துல்லியத்தை மட்டுமல்ல, குழாய் அமைப்பில் உள்ள பல காரணிகளாலும் பெரிய அளவில் பாதிக்கப்படுகிறது. நாம் எரிவாயு உற்பத்தி உபகரணங்கள், சுத்திகரிப்பு உபகரணங்கள் மற்றும் வடிகட்டிகளை நம்பியிருந்தால், முறையற்ற எரிவாயு குழாய் அமைப்பு வடிவமைப்பு அல்லது பொருள் தேர்வுக்கு ஈடுசெய்ய எண்ணற்ற அதிக துல்லியத் தேவைகளை விதிப்பது வெறுமனே தவறானது.
909 திட்டத்தின் வடிவமைப்பு செயல்பாட்டின் போது, ​​"சுத்தமான தாவரங்களின் வடிவமைப்புக்கான குறியீடு" GBJ73-84 (தற்போதைய தரநிலை (GB50073-2001)), "சுத்தமான காற்று நிலையங்களின் வடிவமைப்புக்கான குறியீடு" GBJ29-90, "ஆக்ஸிஜன் நிலையங்களின் வடிவமைப்புக்கான குறியீடு" GB50030-91, "ஹைட்ரஜன் மற்றும் ஆக்ஸிஜன் நிலையங்களின் வடிவமைப்புக்கான குறியீடு" GB50177-93 மற்றும் குழாய் பொருட்கள் மற்றும் துணைக்கருவிகளைத் தேர்ந்தெடுப்பதற்கான தொடர்புடைய தொழில்நுட்ப நடவடிக்கைகளைப் பின்பற்றினோம். "சுத்தமான தாவரங்களின் வடிவமைப்புக்கான குறியீடு" குழாய் பொருட்கள் மற்றும் வால்வுகளின் தேர்வை பின்வருமாறு வரையறுக்கிறது:

(1) வாயு தூய்மை 99.999% ஐ விட அதிகமாகவோ அல்லது சமமாகவோ இருந்தால் மற்றும் பனி புள்ளி -76°C ஐ விடக் குறைவாக இருந்தால், எலக்ட்ரோபாலிஷ் செய்யப்பட்ட உள் சுவருடன் கூடிய 00Cr17Ni12Mo2Ti குறைந்த கார்பன் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய் (316L) அல்லது எலக்ட்ரோபாலிஷ் செய்யப்பட்ட உள் சுவருடன் கூடிய OCr18Ni9 துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய் (304) பயன்படுத்தப்பட வேண்டும். வால்வு ஒரு டயாபிராம் வால்வு அல்லது பெல்லோஸ் வால்வாக இருக்க வேண்டும்.

(2) வாயு தூய்மை 99.99% ஐ விட அதிகமாகவோ அல்லது சமமாகவோ இருந்தால் மற்றும் பனி புள்ளி -60°C ஐ விடக் குறைவாக இருந்தால், மின் பாலிஷ் செய்யப்பட்ட உள் சுவருடன் கூடிய OCr18Ni9 துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய் (304) பயன்படுத்தப்பட வேண்டும். எரியக்கூடிய எரிவாயு குழாய்களுக்குப் பயன்படுத்தப்பட வேண்டிய பெல்லோஸ் வால்வுகளைத் தவிர, மற்ற எரிவாயு குழாய்களுக்கு பந்து வால்வுகளைப் பயன்படுத்த வேண்டும்.

(3) வறண்ட அழுத்தப்பட்ட காற்றின் பனிப் புள்ளி -70°C க்கும் குறைவாக இருந்தால், பளபளப்பான உள் சுவருடன் கூடிய OCr18Ni9 துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய் (304) பயன்படுத்தப்பட வேண்டும். பனிப் புள்ளி -40°C க்கும் குறைவாக இருந்தால், OCr18Ni9 துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய் (304) அல்லது ஹாட்-டிப் கால்வனேற்றப்பட்ட தடையற்ற எஃகு குழாய் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும். வால்வு ஒரு பெல்லோஸ் வால்வு அல்லது ஒரு பந்து வால்வாக இருக்க வேண்டும்.

(4) வால்வுப் பொருள் இணைக்கும் குழாய்ப் பொருளுடன் இணக்கமாக இருக்க வேண்டும்.

விவரக்குறிப்புகளின் தேவைகள் மற்றும் தொடர்புடைய தொழில்நுட்ப நடவடிக்கைகளின்படி, குழாய்ப் பொருட்களைத் தேர்ந்தெடுக்கும்போது பின்வரும் அம்சங்களை நாங்கள் முக்கியமாகக் கருதுகிறோம்:

(1) குழாய் பொருட்களின் காற்று ஊடுருவல் சிறியதாக இருக்க வேண்டும். வெவ்வேறு பொருட்களால் ஆன குழாய்கள் வெவ்வேறு காற்று ஊடுருவலைக் கொண்டுள்ளன. அதிக காற்று ஊடுருவல் கொண்ட குழாய்கள் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டால், மாசுபாட்டை அகற்ற முடியாது. துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்கள் மற்றும் செப்பு குழாய்கள் வளிமண்டலத்தில் ஆக்ஸிஜனின் ஊடுருவல் மற்றும் அரிப்பைத் தடுப்பதில் சிறந்தவை. இருப்பினும், துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்கள் செப்பு குழாய்களை விட குறைவான செயலில் இருப்பதால், வளிமண்டலத்தில் உள்ள ஈரப்பதத்தை அவற்றின் உள் மேற்பரப்புகளில் ஊடுருவ அனுமதிப்பதில் செப்பு குழாய்கள் அதிக செயலில் உள்ளன. எனவே, அதிக தூய்மையான எரிவாயு குழாய்களுக்கான குழாய்களைத் தேர்ந்தெடுக்கும்போது, ​​துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்கள் முதல் தேர்வாக இருக்க வேண்டும்.

(2) குழாய் பொருளின் உள் மேற்பரப்பு உறிஞ்சப்பட்டு வாயுவை பகுப்பாய்வு செய்வதில் ஒரு சிறிய விளைவைக் கொண்டுள்ளது. துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய் பதப்படுத்தப்பட்ட பிறகு, அதன் உலோக லேட்டிஸில் ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு வாயு தக்கவைக்கப்படும். அதிக தூய்மையான வாயு கடந்து செல்லும்போது, ​​வாயுவின் இந்த பகுதி காற்று ஓட்டத்தில் நுழைந்து மாசுபாட்டை ஏற்படுத்தும். அதே நேரத்தில், உறிஞ்சுதல் மற்றும் பகுப்பாய்வு காரணமாக, குழாயின் உள் மேற்பரப்பில் உள்ள உலோகமும் ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு தூளை உருவாக்கும், இதனால் அதிக தூய்மையான வாயு மாசுபடும். 99.999% அல்லது ppb நிலைக்கு மேல் தூய்மை கொண்ட குழாய் அமைப்புகளுக்கு, 00Cr17Ni12Mo2Ti குறைந்த கார்பன் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய் (316L) பயன்படுத்தப்பட வேண்டும்.

(3) துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களின் தேய்மான எதிர்ப்பு செப்பு குழாய்களை விட சிறந்தது, மேலும் காற்று ஓட்ட அரிப்பினால் உருவாகும் உலோக தூசி ஒப்பீட்டளவில் குறைவாக உள்ளது. தூய்மைக்கு அதிக தேவைகள் உள்ள உற்பத்தி பட்டறைகள் 00Cr17Ni12Mo2Ti குறைந்த கார்பன் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்கள் (316L) அல்லது OCr18Ni9 துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்கள் (304) ஐப் பயன்படுத்தலாம், செப்பு குழாய்களைப் பயன்படுத்தக்கூடாது.

(4) 99.999% அல்லது ppb அல்லது ppt அளவுகளுக்கு மேல் எரிவாயு தூய்மை கொண்ட குழாய் அமைப்புகளுக்கு, அல்லது "சுத்தமான தொழிற்சாலை வடிவமைப்பு குறியீட்டில்" குறிப்பிடப்பட்டுள்ள N1-N6 காற்று தூய்மை அளவுகளைக் கொண்ட சுத்தமான அறைகளில், அல்ட்ரா-சுத்தமான குழாய்கள் அல்லதுEP அல்ட்ரா-க்ளீன் குழாய்கள்"மிகவும் மென்மையான உள் மேற்பரப்பு கொண்ட சுத்தமான குழாயை" சுத்தம் செய்யவும்.

(5) உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் சில சிறப்பு எரிவாயு குழாய் அமைப்புகள் மிகவும் அரிக்கும் வாயுக்கள். இந்த குழாய் அமைப்புகளில் உள்ள குழாய்கள் அரிப்பை எதிர்க்கும் எஃகு குழாய்களை குழாய்களாகப் பயன்படுத்த வேண்டும். இல்லையெனில், குழாய்கள் அரிப்பு காரணமாக சேதமடையும். மேற்பரப்பில் அரிப்பு புள்ளிகள் ஏற்பட்டால், சாதாரண தடையற்ற எஃகு குழாய்கள் அல்லது கால்வனேற்றப்பட்ட வெல்டட் எஃகு குழாய்களைப் பயன்படுத்தக்கூடாது.

(6) கொள்கையளவில், அனைத்து எரிவாயு குழாய் இணைப்புகளும் பற்றவைக்கப்பட வேண்டும். கால்வனேற்றப்பட்ட எஃகு குழாய்களை வெல்டிங் செய்வது கால்வனேற்றப்பட்ட அடுக்கை அழிக்கும் என்பதால், சுத்தமான அறைகளில் குழாய்களுக்கு கால்வனேற்றப்பட்ட எஃகு குழாய்கள் பயன்படுத்தப்படுவதில்லை.

மேற்கண்ட காரணிகளைக் கருத்தில் கொண்டு, &7& திட்டத்தில் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட எரிவாயு குழாய் குழாய்கள் மற்றும் வால்வுகள் பின்வருமாறு:

உயர்-தூய்மை நைட்ரஜன் (PN2) அமைப்பு குழாய்கள் 00Cr17Ni12Mo2Ti குறைந்த-கார்பன் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களால் (316L) எலக்ட்ரோபாலிஷ் செய்யப்பட்ட உள் சுவர்களுடன் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் வால்வுகள் அதே பொருளின் துருப்பிடிக்காத எஃகு பெல்லோஸ் வால்வுகளால் செய்யப்படுகின்றன.
நைட்ரஜன் (N2) அமைப்பு குழாய்கள் 00Cr17Ni12Mo2Ti குறைந்த கார்பன் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களால் (316L) எலக்ட்ரோபாலிஷ் செய்யப்பட்ட உள் சுவர்களுடன் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் வால்வுகள் அதே பொருளின் துருப்பிடிக்காத எஃகு துருப்பிடிக்காத வால்வுகளால் செய்யப்படுகின்றன.
உயர்-தூய்மை ஹைட்ரஜன் (PH2) அமைப்பு குழாய்கள் 00Cr17Ni12Mo2Ti குறைந்த-கார்பன் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களால் (316L) எலக்ட்ரோபாலிஷ் செய்யப்பட்ட உள் சுவர்களுடன் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் வால்வுகள் அதே பொருளின் துருப்பிடிக்காத எஃகு பெல்லோஸ் வால்வுகளால் செய்யப்படுகின்றன.
உயர்-தூய்மை ஆக்ஸிஜன் (PO2) அமைப்பு குழாய்கள் 00Cr17Ni12Mo2Ti குறைந்த-கார்பன் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களால் (316L) எலக்ட்ரோ-பாலிஷ் செய்யப்பட்ட உள் சுவர்களுடன் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் வால்வுகள் அதே பொருளின் துருப்பிடிக்காத எஃகு பெல்லோஸ் வால்வுகளால் செய்யப்படுகின்றன.
ஆர்கான் (Ar) அமைப்பு குழாய்கள் 00Cr17Ni12Mo2Ti குறைந்த கார்பன் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களால் (316L) எலக்ட்ரோபாலிஷ் செய்யப்பட்ட உள் சுவர்களுடன் தயாரிக்கப்படுகின்றன, மேலும் அதே பொருளின் துருப்பிடிக்காத எஃகு துருப்பிடிக்காத வால்வுகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
ஹீலியம் (He) அமைப்பு குழாய்கள் 00Cr17Ni12Mo2Ti குறைந்த கார்பன் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களால் (316L) மின் பாலிஷ் செய்யப்பட்ட உள் சுவர்களுடன் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் வால்வுகள் அதே பொருளின் துருப்பிடிக்காத எஃகு துருப்பிடிக்காத வால்வுகளால் செய்யப்படுகின்றன.
சுத்தமான உலர் அழுத்தப்பட்ட காற்று (CDA) அமைப்பு குழாய்கள் OCr18Ni9 துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களால் (304) பளபளப்பான உள் சுவர்களுடன் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் வால்வுகள் அதே பொருளின் துருப்பிடிக்காத எஃகு பெல்லோஸ் வால்வுகளால் செய்யப்படுகின்றன.
சுவாச அழுத்தப்பட்ட காற்று (BA) அமைப்பு குழாய்கள் OCr18Ni9 துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களால் (304) பளபளப்பான உள் சுவர்களுடன் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் வால்வுகள் அதே பொருளின் துருப்பிடிக்காத எஃகு பந்து வால்வுகளால் செய்யப்படுகின்றன.
செயல்முறை வெற்றிட (PV) அமைப்பு குழாய்கள் UPVC குழாய்களால் ஆனவை, மேலும் வால்வுகள் அதே பொருளால் ஆன வெற்றிட பட்டாம்பூச்சி வால்வுகளால் ஆனவை.
சுத்தம் செய்யும் வெற்றிட (HV) அமைப்பு குழாய்கள் UPVC குழாய்களால் ஆனவை, மேலும் வால்வுகள் அதே பொருளால் செய்யப்பட்ட வெற்றிட பட்டாம்பூச்சி வால்வுகளால் ஆனவை.
சிறப்பு எரிவாயு அமைப்பின் குழாய்கள் அனைத்தும் 00Cr17Ni12Mo2Ti குறைந்த கார்பன் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களால் (316L) எலக்ட்ரோபாலிஷ் செய்யப்பட்ட உள் சுவர்களுடன் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் வால்வுகள் அதே பொருளின் துருப்பிடிக்காத எஃகு பெல்லோஸ் வால்வுகளால் செய்யப்படுகின்றன.

3 குழாய் இணைப்புகளின் கட்டுமானம் மற்றும் நிறுவல்
3.1 "சுத்தமான தொழிற்சாலை கட்டிட வடிவமைப்பு குறியீடு" பிரிவு 8.3 குழாய் இணைப்புகளுக்கு பின்வரும் விதிகளை விதிக்கிறது:
(1) குழாய் இணைப்புகள் பற்றவைக்கப்பட வேண்டும், ஆனால் ஹாட்-டிப் கால்வனேற்றப்பட்ட எஃகு குழாய்கள் திரிக்கப்பட்டிருக்க வேண்டும். திரிக்கப்பட்ட இணைப்புகளின் சீலிங் பொருள் இந்த விவரக்குறிப்பின் பிரிவு 8.3.3 இன் தேவைகளுக்கு இணங்க வேண்டும்.
(2) துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களை ஆர்கான் ஆர்க் வெல்டிங் மற்றும் பட் வெல்டிங் அல்லது சாக்கெட் வெல்டிங் மூலம் இணைக்க வேண்டும், ஆனால் அதிக தூய்மையான எரிவாயு குழாய்களை உள் சுவரில் அடையாளங்கள் இல்லாமல் பட் வெல்டிங் மூலம் இணைக்க வேண்டும்.
(3) குழாய் இணைப்புகளுக்கும் உபகரணங்களுக்கும் இடையிலான இணைப்பு, உபகரணங்களின் இணைப்புத் தேவைகளுக்கு இணங்க வேண்டும். குழாய் இணைப்புகளைப் பயன்படுத்தும் போது, ​​உலோக குழல்களைப் பயன்படுத்த வேண்டும்.
(4) குழாய்கள் மற்றும் வால்வுகளுக்கு இடையிலான இணைப்பு பின்வரும் விதிமுறைகளுக்கு இணங்க வேண்டும்.

① உயர்-தூய்மை எரிவாயு குழாய்கள் மற்றும் வால்வுகளை இணைக்கும் சீலிங் பொருள் உற்பத்தி செயல்முறையின் தேவைகள் மற்றும் எரிவாயு பண்புகளுக்கு ஏற்ப உலோக கேஸ்கட்கள் அல்லது இரட்டை ஃபெரூல்களைப் பயன்படுத்த வேண்டும்.
② திரிக்கப்பட்ட அல்லது ஃபிளேன்ஜ் இணைப்பில் உள்ள சீலிங் பொருள் பாலிடெட்ராஃப்ளூரோஎத்திலீனாக இருக்க வேண்டும்.
3.2 விவரக்குறிப்புகள் மற்றும் தொடர்புடைய தொழில்நுட்ப நடவடிக்கைகளின் தேவைகளின்படி, உயர்-தூய்மை எரிவாயு குழாய் இணைப்புகளை முடிந்தவரை பற்றவைக்க வேண்டும். வெல்டிங்கின் போது நேரடி பட் வெல்டிங் தவிர்க்கப்பட வேண்டும். குழாய் சட்டைகள் அல்லது முடிக்கப்பட்ட மூட்டுகளைப் பயன்படுத்த வேண்டும். குழாய் சட்டைகள் குழாய்களின் அதே பொருள் மற்றும் உள் மேற்பரப்பு மென்மையால் செய்யப்பட வேண்டும். வெல்டிங்கின் போது, ​​வெல்டிங் பகுதியின் ஆக்சிஜனேற்றத்தைத் தடுக்க, வெல்டிங் குழாயில் தூய பாதுகாப்பு வாயுவை அறிமுகப்படுத்த வேண்டும். துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களுக்கு, ஆர்கான் ஆர்க் வெல்டிங் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும், மேலும் அதே தூய்மையின் ஆர்கான் வாயுவை குழாயில் அறிமுகப்படுத்த வேண்டும். திரிக்கப்பட்ட இணைப்பு அல்லது திரிக்கப்பட்ட இணைப்பைப் பயன்படுத்த வேண்டும். விளிம்புகளை இணைக்கும்போது, ​​திரிக்கப்பட்ட இணைப்புகளுக்கு ஃபெரூல்களைப் பயன்படுத்த வேண்டும். உலோக கேஸ்கட்களைப் பயன்படுத்த வேண்டிய ஆக்ஸிஜன் குழாய்கள் மற்றும் ஹைட்ரஜன் குழாய்களைத் தவிர, மற்ற குழாய்கள் பாலிடெட்ராஃப்ளூரோஎத்திலீன் கேஸ்கட்களைப் பயன்படுத்த வேண்டும். கேஸ்கட்களில் சிறிய அளவு சிலிகான் ரப்பரைப் பயன்படுத்துவதும் பயனுள்ளதாக இருக்கும். சீலிங் விளைவை மேம்படுத்தவும். விளிம்பு இணைப்புகள் செய்யப்படும்போது இதே போன்ற நடவடிக்கைகள் எடுக்கப்பட வேண்டும்.
நிறுவல் பணி தொடங்குவதற்கு முன், குழாய்களின் விரிவான காட்சி ஆய்வு,பொருத்துதல்கள், வால்வுகள், முதலியன மேற்கொள்ளப்பட வேண்டும். சாதாரண துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களின் உள் சுவர் நிறுவலுக்கு முன் ஊறுகாய் செய்யப்பட வேண்டும். ஆக்ஸிஜன் குழாய்களின் குழாய்கள், பொருத்துதல்கள், வால்வுகள் போன்றவை எண்ணெயிலிருந்து கண்டிப்பாக தடைசெய்யப்பட வேண்டும், மேலும் நிறுவலுக்கு முன் தொடர்புடைய தேவைகளுக்கு ஏற்ப கண்டிப்பாக சிதைக்கப்பட வேண்டும்.
இந்த அமைப்பு நிறுவப்பட்டு பயன்பாட்டிற்கு கொண்டு வரப்படுவதற்கு முன், வழங்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை வாயுவால் பரிமாற்றம் மற்றும் விநியோக குழாய் அமைப்பை முழுமையாக சுத்தப்படுத்த வேண்டும். இது நிறுவல் செயல்பாட்டின் போது தற்செயலாக அமைப்பில் விழுந்த தூசித் துகள்களை வீசி எறிவது மட்டுமல்லாமல், குழாய் அமைப்பில் உலர்த்தும் பாத்திரத்தையும் வகிக்கிறது, குழாய் சுவர் மற்றும் குழாய் பொருட்களால் உறிஞ்சப்படும் ஈரப்பதம் கொண்ட வாயுவின் ஒரு பகுதியை நீக்குகிறது.

4. குழாய் அழுத்த சோதனை மற்றும் ஏற்றுக்கொள்ளல்
(1) அமைப்பு நிறுவப்பட்ட பிறகு, சிறப்பு எரிவாயு குழாய்களில் அதிக நச்சு திரவங்களை கொண்டு செல்லும் குழாய்களின் 100% கதிரியக்க ஆய்வு மேற்கொள்ளப்பட வேண்டும், மேலும் அவற்றின் தரம் நிலை II ஐ விடக் குறைவாக இருக்கக்கூடாது. மற்ற குழாய்கள் மாதிரி கதிரியக்க ஆய்வுக்கு உட்படுத்தப்பட வேண்டும், மேலும் மாதிரி ஆய்வு விகிதம் 5% க்கும் குறைவாக இருக்கக்கூடாது, தரம் தரம் III ஐ விடக் குறைவாக இருக்கக்கூடாது.
(2) அழிவில்லாத பரிசோதனையில் தேர்ச்சி பெற்ற பிறகு, ஒரு அழுத்த சோதனை மேற்கொள்ளப்பட வேண்டும். குழாய் அமைப்பின் வறட்சி மற்றும் தூய்மையை உறுதி செய்வதற்காக, ஒரு ஹைட்ராலிக் அழுத்த சோதனை மேற்கொள்ளப்படக்கூடாது, ஆனால் ஒரு நியூமேடிக் அழுத்த சோதனையைப் பயன்படுத்த வேண்டும். சுத்தமான அறையின் தூய்மை நிலைக்கு பொருந்தக்கூடிய நைட்ரஜன் அல்லது சுருக்கப்பட்ட காற்றைப் பயன்படுத்தி காற்று அழுத்த சோதனை மேற்கொள்ளப்பட வேண்டும். குழாயின் சோதனை அழுத்தம் வடிவமைப்பு அழுத்தத்தை விட 1.15 மடங்கு அதிகமாக இருக்க வேண்டும், மேலும் வெற்றிட குழாயின் சோதனை அழுத்தம் 0.2MPa ஆக இருக்க வேண்டும். சோதனையின் போது, ​​அழுத்தத்தை படிப்படியாகவும் மெதுவாகவும் அதிகரிக்க வேண்டும். சோதனை அழுத்தத்தில் அழுத்தம் 50% ஆக உயரும்போது, ​​எந்த அசாதாரணமும் அல்லது கசிவும் காணப்படவில்லை என்றால், சோதனை அழுத்தத்தில் படிப்படியாக 10% அழுத்தத்தை தொடர்ந்து அதிகரிக்கவும், சோதனை அழுத்தம் வரை ஒவ்வொரு மட்டத்திலும் 3 நிமிடங்கள் அழுத்தத்தை நிலைப்படுத்தவும். 10 நிமிடங்களுக்கு அழுத்தத்தை நிலைப்படுத்தவும், பின்னர் அழுத்தத்தை வடிவமைப்பு அழுத்தத்திற்கு குறைக்கவும். கசிவு கண்டறிதலின் தேவைகளுக்கு ஏற்ப அழுத்தம் நிறுத்த நேரம் தீர்மானிக்கப்பட வேண்டும். கசிவு இல்லாவிட்டால் நுரைக்கும் முகவர் தகுதி பெறுகிறது.
(3) வெற்றிட அமைப்பு அழுத்த சோதனையில் தேர்ச்சி பெற்ற பிறகு, வடிவமைப்பு ஆவணங்களின்படி 24 மணிநேர வெற்றிட டிகிரி சோதனையையும் நடத்த வேண்டும், மேலும் அழுத்த விகிதம் 5% ஐ விட அதிகமாக இருக்கக்கூடாது.
(4) கசிவு சோதனை. பிபிபி மற்றும் பிபிடி தர குழாய் அமைப்புகளுக்கு, தொடர்புடைய விவரக்குறிப்புகளின்படி, எந்த கசிவும் தகுதியானதாகக் கருதப்படக்கூடாது, ஆனால் வடிவமைப்பின் போது கசிவு அளவு சோதனை பயன்படுத்தப்படுகிறது, அதாவது, காற்று இறுக்க சோதனைக்குப் பிறகு கசிவு அளவு சோதனை செய்யப்படுகிறது. அழுத்தம் என்பது வேலை செய்யும் அழுத்தம், மற்றும் அழுத்தம் 24 மணி நேரம் நிறுத்தப்படும். சராசரி மணிநேர கசிவு தகுதியானதாக 50ppm ஐ விட குறைவாகவோ அல்லது சமமாகவோ இருக்கும். கசிவின் கணக்கீடு பின்வருமாறு:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
சூத்திரத்தில்:
ஒரு மணி நேர கசிவு (%)
P1-சோதனையின் தொடக்கத்தில் முழுமையான அழுத்தம் (Pa)
P2-சோதனையின் முடிவில் முழுமையான அழுத்தம் (Pa)
சோதனையின் தொடக்கத்தில் T1-முழுமையான வெப்பநிலை (K)
சோதனையின் முடிவில் T2-முழுமையான வெப்பநிலை (K)